統(tǒng)一信息編碼：*******002

項目編號：***-****

采購階段：***

需求分類：***

專業(yè)領域：***,先進材料與制造,可靠性/測試性/維修性

預算金額：**0萬元

主要內(nèi)容

一、需求內(nèi)容：
（一）需求描述
Chuck-主體組件為項目運動臺中較為關鍵零部件，其定制加工的技術協(xié)議已通過研發(fā)中心組織的技術評審，經(jīng)過近年來的調(diào)研及供應商開發(fā)，現(xiàn)國內(nèi)已有多家供應商具備此項任務的承接能力，總體技術風險可控。尺寸：****344*403，材料：***
（二）技術參數(shù)
1.精度指標：***、形位公差、粗糙度、鍍層、氣路密封等要求，詳見圖紙。零件交付時，除提供加工過程檢驗和最終檢驗結(jié)果之外，還需要提供詳細的檢驗原始數(shù)據(jù)，例如，三坐標打點數(shù)據(jù)、干涉儀成像圖、輪廓儀成像圖，光膠面粗糙度，光潔度等。
2.光膠面指標：***-主體，XY光柵尺定位，Y光柵尺定位，3種零件光膠面滿足圖紙標注的平面度、局部平面度、粗糙度的同時，還需要滿足光潔度要求：***-PRF-13830B:***/2。
3.邊緣缺陷要求：***-主體長邊區(qū)域的鍍層和局部面型缺陷距離Chuck最外側(cè)邊緣≤1mm，短邊缺陷邊緣≤2mm。需要提供鍍層的厚度、方塊電阻和鍍層劃痕檢驗報告；吸附凸點1/吸附凸點2，首先保證在零件的上表面凸點區(qū)域均勻鍍TiN，四周邊框可以不鍍，S區(qū)域不鍍。詳細要求參見零件圖紙。
4.通用質(zhì)量要求
1） 材料 進口微晶玻璃，推薦肖特
2 ）材料物理參數(shù) 密度2.53g/cm3，楊氏模量E=90.3GPa，線性膨脹系數(shù)≤0.02×10E-6/K，泊松比0.243
3） 零件外觀 零件加工面光滑、潔凈，無污垢，無磕碰或瑕疵等；零件一般崩邊≤0.05mm；鍍膜膜層無起皮、裂紋、脫膜和灰霧，無水漬和擦痕等。
4） 鍍層壽命 ＞7年，鍍膜膜層無起皮、裂紋、脫膜、灰霧等現(xiàn)象。
（三）驗收標準
1.尺寸檢驗量具及方法
平面度/平行度/垂直度/位置度 ≥2μm 三坐標測量儀
平面度 ＜2μm，局部50nm 干涉儀/LUPHOScan測量儀/3D 輪廓儀
粗糙度 Ra0.0005，Ra0.0008 白光干涉儀
厚度較小零件平行度 5μm 干涉儀透射波前/三坐標測量儀
2.基準面D檢測
使用專用支撐工裝，多點支撐，將粘接后的Chuck-主體豎直擺放，如下圖所示。使用設備檢測基準面D的面型。正反兩次檢測基準面D，即C面朝上檢測一次，CT面朝上檢測一次。兩次檢驗的基準面D的面型變化趨勢相同，面型數(shù)值相近，且基準面D關鍵區(qū)域的整體面型≤800nm，局部面型≤30nm。非關鍵區(qū)域面型與圖紙保持一致。
3.外觀要求及檢測手段
零件表面清潔，無裂紋、無磕碰、無附著 光學表面檢查燈
零件崩邊 電子顯微鏡+目測
鍍層劃痕，色差 電子顯微鏡+目測
方塊電阻 方塊電阻測試儀
鍍層厚度 膜厚測試儀
光膠面無磨料殘留 電子顯微鏡
（四）技術及售后服務
1、自雙方驗收合格之日起，提供1年質(zhì)量保證服務；
2、在使用中，如果發(fā)生問題，需乙方在接到甲方通知后2小時內(nèi)做出響應。
二、資格要求
需具備一定的技術研發(fā)和制造實力；
具備完善的產(chǎn)品測試能力，有必要的檢測設備及相關手段；
注冊營業(yè)執(zhí)照實繳不能為0；具備ISO9001質(zhì)量認證體系證書等
三、線下對接聯(lián)系人：
聯(lián)系人：***
聯(lián)系電話：****713

可接受驗廠，需具備加工及制造能力、設計能力等。具有質(zhì)量體系認證證書。具有較為齊全的測量設備。

信息來源：***://weain.****.cn/cgxq/jgxq/********097.shtml?v=****161527&demandMark=2