申購單主題: | 電熱水洗式尾氣處理器 | 申購單位: | 電子與信息工程學(xué)院(微電子學(xué)院) |
申購備注: |
商品名稱 | 品牌 | 型號 | 數(shù)量 | 報價類型 |
電熱水洗式尾氣處理器 | GenTech | GTTWS600 SERIES | 1.0 | 國內(nèi)含稅價/人民幣 |
售后服務(wù) | ||||
規(guī)格 | 1.處理易燃、有毒氣體,如:***、WF6等,處理容量不小于600slpm 2.具備SEMI S2認(rèn)證 3.配置循環(huán)水泵,減少市政水消耗 4.采用筒式加熱棒,高加熱棒效率及均勻熱分布,設(shè)備內(nèi)部防腐設(shè)計; 5.操作權(quán)限分級管理,報警可連鎖關(guān)斷,歷史報警記錄觸發(fā)和恢復(fù)時間; 6.實時監(jiān)測水箱液位異常、水箱泄露及加熱棒組、排風(fēng)口溫度異常、循環(huán)泵、壓縮空氣和進水壓力異常等報警。 |